洗浄ウエハへの異物付着が90%以上低減

ワイヤボンディング装置内の異物付着が77%減少

プリント基板加工時の付着異物が99%減少

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ため、両者間に作用する静電気によるクーロン引力を打ち消すことで異物付着を

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　防止します (空間防塵効果)。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　特に顕著な効果が得られたエリアでは、23万個あった異物付着を1.5千個まで

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　減少させ、異物付着を99%削減することに成功しました。

光学多層膜コーティングの異物不良が51%減少

光学デバイス製造工場における多層コート蒸着工程で、空間トリンク (TAS-811 SFS) の空間防塵効果が異物不良削減に貢献しています。

この工場では、空間トリンクを設置し半年間をかけてその効果を実証しました。空間トリンクは作業エリアをイオンで満たします。このイオン空間内にある製品や浮遊するホコリの全ての静電気が中和されるために、異物付着を防止すること

                                                                             ができます (空間防塵効果) 。この空間防塵効果が作用する空間で素子を

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　クリーニングし蒸着窯にセットすることで、蒸着時の異物混入を防止することが

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　可能になるのです。複数の現場で検証した結果、最大で51%の大きな改善効果を

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　達成しました。

カメラ用レンズ貼り合わせ工程で異物付着が減少し            クレームがゼロに

海外レンズメーカーの工場において、カメラ用レンズ貼り合わせ工程での異物不良が問題となっていました。クリーンベンチ内での作業にもかかわらず、カメラ用レンズを複数枚貼り合わせる工程で異物付着による不良が多発していました。
検査で不良判定されたレンズは分解・クリーニングした後に再度材料として用い

                                                                             られるのですが、この手直し作業がとても煩雑であり、頻発する手直し作業に

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　辟易した現場作業者からの設計部門に対するクレームが増加していました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　困り果てたエンジニアがクリーンベンチの中に空間トリンク(TAS-821 SFS)を設置

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　して空間防塵効果を作用させたところ、不良が激減し現場からのクレームも無く

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　なりました。

塗装前の車体研磨工程で異物付着率が74%低減

大手自動車メーカーでは、車体塗装の直前で自動車ボディの美しい面を出す

ために車体を研磨する工程があります。この工程で完璧な自動車ボディの美しい

面を作り出し、その後は塗装が完成するまで一切の異物（ホコリ）が付着する

ことは許されません。研磨した粉塵や環境に浮遊する異物がボディに付着した場合には、ウエスで拭き取ったり回転する羽根で擦って取り除いて対応していたの

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ですが、これらのやり方では静電気で付着した異物を効率的に取り除くことが

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　できず、塗装不良に繋がってしまっていました。そこでこの工場では、

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　空間トリンクにより異物付着を防止する対策を採用しました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　自動車ボディが搬送されるラインに沿って、上部に空間トリンクを設置します。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　すると、作業エリアがイオンで満たされ、環境浮遊異物と研磨により発生する

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　粉末の静電気を常時中和して付着量を劇的に抑えることが可能になりました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　その効果を確認したところ、異物付着量は74％低減していました。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　加えて、異物と自動車ボディの間の静電気による吸引力を限りなく弱めることが

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　できるためたとえ表面に引っかかった状態で異物が付着してしまったとしても

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　簡単に除去することができるようになりました。これにより、最終的な塗装不良

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　の大幅削減に成功しました。

車載電池製造ラインの必要な複数個所で除塵し異物混入を徹底的に防止

車載用バッテリー製造工場では、異物がバッテリー内部に混入すると安全上のリスクが増大するために、各種材料に付着していた異物、工程内で発生した異物を徹底的に除去しなければなりません。電池製造のための多数の工程がある中で、異物混入のリスクは至る所に存在します。

                                                                             ところが、従来のクリーナは、装置が大型であり消費電力も大きいため、自動化

                                                                             のためにコンパクトに設計された電池製造設備の中には納まりきらず本当に必要

                                                                             な場所でクリーニングを実施できないという問題点がありました。

                                                                            一方で、TRINCのフィルムクリーナ、シートクリーナは、クリーナヘッド・風力

                                                                             エンジンのどちらをとっても他社製品に比べて小型・薄型・省エネ動作であるた

                                                                             め、装置内に自由に設置することが可能です。もちろん、異物×静電気対策の

                                                                             専業メーカーである強みを活かして高い除塵能力を実現しているため、異物混入

                                                                             のリスクを劇的に下げることが可能になります。ある車載バッテリー製造工場に

                                                                             おいては、TRINCのクリーナを採用することで、当初予定していたクリーナの設

                                                                             置台数を大幅に増強することが可能となり、より高い水準での異物対策を実行さ

                                                                             れています。