可以简单地测量平面形状！
便于现场使用
因为有定位辅助机构，所以即使是第一次使用的人也能容易地进行测量
另外，光量可自动调节，即使是反射率大不相同的工件也不需要更换基准板。
而且，即使不触摸鼠标也可以用非接触传感器开始分析，所以不需要担心操作引起的振动。
请给我35秒的时间！请看简单操作的动画！
减少背面反射
激光干涉仪在平行平面样品测定中、尽管在某些情况下，表面的反射波阵面会受到背面反射波阵面的影响给测量带来困难、在低相干干涉原理中，通过将相干性限制在短区域内，可以抑制来自背面的干涉，仅从表面生成干涉条纹。
测量结果示例
平坦度测量结果
表面粗糙度的测量结果
主要规格
●分析装置、防振台为标准装备
●测量透射波面的夹具（选配）
●光源波长：633.08nm
●测量精度：1/20λ
●RMS精度（Short-term）：0.1nm
●RMS繰返精度（Short-term）：0.03nm
●RMS精度（LONG-term）：0.2nm
●RMS繰返精度（LONG-term）：0.1nm
●分解能1200x1200 Pixels（1x），1920x1200
Pixels（4x）
●测量时间：<1秒（单次测量）
