平面形状を簡単に測定することが可能！
現場向きの使いやすさ
アライメント補助機構がある為、初めて使用する方でも容易に測定ができます。
また光量の自動調節により、
反射率の大きく異なるワークでも基準板の交換の必要がありません。
更にマウスを触らなくても非接触センサーで解析スタートができるため
操作による振動の心配も不要です。
35秒お時間をください！ 簡単操作の動画です！
裏面反射の低減
レーザー干渉計では、平行平面サンプルの測定において、表面の反射波面に裏面の反射波面が影響して測定が困難なケースがありますが、低コヒーレンス干渉原理では、短い領域でコヒーレンスを制限することにより、裏面からの干渉の抑制が可能になり、表面のみからの干渉縞が生成されます。
測定結果の例
平坦度の測定結果
面粗さの測定結果
主な仕様
～デモ測定受付中！～
