高精度・高効率生産を実現します！

◆ 堅牢で簡単な構造
◆ 自動厚さ測定システム
◆ 自動ドレッシングシステム
◆ 加工時の製品の低い破損率
◆ 簡単な駆動と工程管理が可能

 仕上げCMPの前に使用で

　　　　プロセス時間を大幅に短縮!

　SiCやサファイアなど、

　　　　　硬質材料・基板の研磨に最適!
以下の課題解決にお勧めです！

・CMPのプロセス時間を短縮したい

・微細スクラッチ等の除去を効率化したい

・過マンガン酸カリウムスラリーの負荷を低減したい

半導体向け材料・ウエハープロセスの

あらゆるユースポイントに対応する、

オールテフロンフィルターです。

半導体部品 ”洗浄” 工程にフォーカス！

高付加価値ソリューションを展示します

革新的・唯一無二のプロテクションコーティングで劇的な歩留まり向上効果を期待できます！

 パーティクルフリーを実現する

保護コーティング!

接合性と腐食防止性の向上を実現し
様々なプロセス条件に合わせた

製品設計・プロセスの簡素化！

AIと独自ソフトで”人の目”で見るような外観検査で不良を高速検出！

5～50mmの複数のサイズを兼用可能！

　真空成型トレイ

　高機能性袋

　キャリアテープ

半導体部品には欠かせない資材を展示！

工具磨きに最適な粘度をご提供!　　　
ダイヤモンドスラリーでは粘度が低く
ワークへの固着性に問題があり、

一方ダイヤモンドペーストでは粘度が高すぎてワーク全体に薄く延ばすことが困難でした。

本製品はその中間に位置するジェルタイプとして工具磨きに最適な粘度をご提供します。

　　ウェハー真空チャック
　　ポーラスチャック  
　　流量計
　　レベルセンサー
　　　　and more...
特殊材料での製作・モジュール組立も

対応します

CTスキャナの常識を覆す！

高速・高精度と操作性を実現！

●1分以内に撮影からデータ表示

●高分解能で1μmの線幅の観察が可能

●2分以内の高速セットアップ

👈詳しくは左の画像をクリック！

クリーンルームの空気清浄度管理と

コンタミネーション対策を1台で完結！

0.5µm以上の浮遊粒子と5µm以上の落下粒子の同時検出を実現。

👈詳しくは左の画像をクリック！